測(cè)量原理:質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量,通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量,因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量,所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果。質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)較為準(zhǔn)確、快速、可靠、高效、穩(wěn)定、靈活的流量測(cè)量?jī)x表,在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用,相信將在推動(dòng)流量測(cè)量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的,它只能檢測(cè)液體或者氣體的質(zhì)量流量,通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質(zhì)量流量控制器,是可以檢測(cè)同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測(cè)量部分,還帶有一個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流,或者計(jì)算機(jī)、PLC提供。
1、質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢(shì):
(1)靈敏度高:熱式傳感器對(duì)溫度的變化非常敏感,因此非常易于測(cè)量;
(2)功耗低:因?yàn)槌叽绾透袦夭牧系牟粩鄡?yōu)化,傳感器的功耗越來(lái)越低;
(3)尺寸?。含F(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因?yàn)椴捎茫停牛停庸に?,一般是厘米或者微米?jí);
(4)量程大:測(cè)量下限很低,可以測(cè)量微小流量;
(5)集成度高:結(jié)合MEMS工藝可以將芯片、流道和信號(hào)處理電路集成到一起;
?。ǎ叮┙Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設(shè)備上;
?。ǎ罚┏杀镜停嚎梢越Y(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。
2、質(zhì)量流量傳感器劣勢(shì):
?。ǎ保y(cè)量氣體組分單一:當(dāng)氣體種類(lèi)改變時(shí),不同氣體的導(dǎo)熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別,測(cè)量時(shí)會(huì)帶來(lái)較大的誤差;
?。ǎ玻┮髿怏w干燥無(wú)污染:濕度較大的氣體對(duì)傳感器表面的熱量交換有影響,進(jìn)而影響到輸出結(jié)果;顆粒物對(duì)傳感器的輸出結(jié)果也有影響。