測(cè)量原理：質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量，通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果。質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)較為準(zhǔn)確、快速、可靠、高效、穩(wěn)定、靈活的流量測(cè)量?jī)x表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用，相信將在推動(dòng)流量測(cè)量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的，它只能檢測(cè)液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測(cè)同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測(cè)量部分，還帶有一個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流，或者計(jì)算機(jī)、PLC提供。

　　1、質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢(shì)：

　　（１）靈敏度高：熱式傳感器對(duì)溫度的變化非常敏感，因此非常易于測(cè)量；

　　（２）功耗低：因?yàn)槌叽绾透袦夭牧系牟粩鄡?yōu)化，傳感器的功耗越來(lái)越低；

　　（３）尺寸?。含F(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因?yàn)椴捎茫停牛停庸に?，一般是厘米或者微米?jí)；

　　（４）量程大：測(cè)量下限很低，可以測(cè)量微小流量；

　　（５）集成度高：結(jié)合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號(hào)處理電路集成到一起；

　?。ǎ叮┙Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設(shè)備上；

　?。ǎ罚┏杀镜停嚎梢越Y(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。

　　2、質(zhì)量流量傳感器劣勢(shì)：

　?。ǎ保y(cè)量氣體組分單一：當(dāng)氣體種類(lèi)改變時(shí)，不同氣體的導(dǎo)熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別，測(cè)量時(shí)會(huì)帶來(lái)較大的誤差；

　?。ǎ玻┮髿怏w干燥無(wú)污染：濕度較大的氣體對(duì)傳感器表面的熱量交換有影響，進(jìn)而影響到輸出結(jié)果；顆粒物對(duì)傳感器的輸出結(jié)果也有影響。